ਇਕ ਹੋਰ ਹੈ ਗੈਸ-ਫੇਜ਼ ਵਿਧੀ, ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ (CAV) ਵਿਧੀ, ਜਿਸ ਨੂੰ ਪਾਈਰੋਲਿਸਿਸ ਵਿਧੀ, ਸੁੱਕੀ ਵਿਧੀ ਜਾਂ ਬਲਨ ਵਿਧੀ ਵੀ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਦਾ ਕੱਚਾ ਮਾਲ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਟੈਟਰਾਕਲੋਰਾਈਡ, ਆਕਸੀਜਨ (ਜਾਂ ਹਵਾ) ਅਤੇ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰਦੇ ਹਨ।
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >SiO2+4HCl. ਹਵਾ ਅਤੇ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਨੂੰ ਸਿੰਥੈਟਿਕ ਹਾਈਡ੍ਰੋਲਾਈਸਿਸ ਭੱਠੀ ਵਿੱਚ ਭੇਜਣ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਕ੍ਰਮਵਾਰ ਦਬਾਅ, ਵੱਖ ਕਰਨ, ਕੂਲਿੰਗ ਅਤੇ ਡੀਹਾਈਡਰੇਸ਼ਨ, ਸਿਲਿਕਾ ਜੈੱਲ ਸੁਕਾਉਣ, ਧੂੜ ਹਟਾਉਣ ਅਤੇ ਫਿਲਟਰੇਸ਼ਨ ਦੇ ਅਧੀਨ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਸਿਲਿਕਨ ਟੈਟਰਾਕਲੋਰਾਈਡ ਦੇ ਕੱਚੇ ਮਾਲ ਨੂੰ ਡਿਸਟਿਲੇਸ਼ਨ ਲਈ ਡਿਸਟਿਲੇਸ਼ਨ ਕਾਲਮ ਵਿੱਚ ਭੇਜੇ ਜਾਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਇਸਨੂੰ ਗਰਮ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਭਾਫ਼ ਵਿੱਚ ਭਾਫ਼ ਬਣਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਕੈਰੀਅਰ ਵਜੋਂ ਸੁੱਕੀ ਅਤੇ ਫਿਲਟਰ ਕੀਤੀ ਹਵਾ ਦੇ ਨਾਲ ਸਿੰਥੈਟਿਕ ਹਾਈਡੋਲਿਸਿਸ ਭੱਠੀ ਵਿੱਚ ਭੇਜਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਸਿਲੀਕਾਨ ਟੈਟਰਾਕਲੋਰਾਈਡ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨਾਂ (ਲਟ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ 1000-1800 ਡਿਗਰੀ) 'ਤੇ ਭਾਫ਼ ਬਣ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਫਿਰ ਲਗਭਗ 1800 ਡਿਗਰੀ 'ਤੇ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਅਤੇ ਆਕਸੀਜਨ (ਜਾਂ ਹਵਾ) ਦੀ ਇੱਕ ਨਿਸ਼ਚਿਤ ਮਾਤਰਾ ਦੇ ਨਾਲ ਗੈਸ-ਫੇਜ਼ ਹਾਈਡ੍ਰੋਲਿਸਿਸ ਤੋਂ ਗੁਜ਼ਰਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਬਿੰਦੂ 'ਤੇ, ਗੈਸ-ਫੇਜ਼ ਸਿਲਿਕਾ ਕਣ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਜੋ ਬਹੁਤ ਹੀ ਬਰੀਕ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਗੈਸਾਂ ਨਾਲ ਐਰੋਸੋਲ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਨੂੰ ਫੜਨਾ ਮੁਸ਼ਕਲ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
ਇਸ ਲਈ, ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ ਪਹਿਲਾਂ ਇੱਕ ਐਗਰੀਗੇਟਰ ਵਿੱਚ ਵੱਡੇ ਕਣਾਂ ਵਿੱਚ ਇਕੱਠਾ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਫਿਰ ਇੱਕ ਚੱਕਰਵਾਤ ਵਿਭਾਜਕ ਦੁਆਰਾ ਇਕੱਠਾ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਇੱਕ ਡੈਸੀਡੀਫਿਕੇਸ਼ਨ ਭੱਠੀ ਵਿੱਚ ਭੇਜਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਗੈਸ-ਫੇਜ਼ ਸਿਲਿਕਾ ਨੂੰ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਨਾਲ ਧੋਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ-ਜਦ ਤੱਕ PH ਮੁੱਲ 4 ਤੋਂ 6 ਨਹੀਂ ਹੁੰਦਾ, ਜੋ ਕਿ ਤਿਆਰ ਉਤਪਾਦ ਹੈ